Reactor mocvd de calentamiento con inducción.
Los reactores de deposición química de vapor metalorgánico (MOCVD) de calentamiento por inducción son una tecnología destinada a mejorar la eficiencia del calentamiento y reducir el acoplamiento magnético dañino con la entrada de gas. Los reactores MOCVD de calentamiento por inducción convencionales a menudo tienen la bobina de inducción ubicada fuera de la cámara, lo que puede resultar en un calentamiento menos eficiente y una posible interferencia magnética con el sistema de suministro de gas. Reciente … Leer más